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二元合金离子剥离Auger谱逐层分析

曲哲 , 谢天生

金属学报

对均匀二元合金的表面进行机械清洁处理,得到元素深度分布为已知的试样,并对这样的试样做了离子剥离逐层分析.试验结果表明,Auger-离子剥离逐层分析得到的元素分布不能精确地反映元素的真实分布.除因选择性剥离造成的稳定态浓度偏离体浓度外,有时还在近表面处出现一个元素“贫乏层”(或富集层).本文也对引起逐层分析曲线“失真”的原因及用这种方法做逐层分析时应注意的问题做了简单说明.

关键词: 俄歇离子剥离 , scraped surfaces

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